特許権


日本

同軸形マイクロ波プラズマトーチ 2008
プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法 2010
マイクロ波プラズマ発生方法および装置 2010
ガス分解装置およびそれを用いたプラズマ設備 2011
プラズマ発生電極及びプラズマ発生方法 2012
プラズマ処理装置 2013
マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器 2014

米国

高周波プラズマ処理装置のためのインピーダンス整合及び電力制御システム 1999
被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 2008
プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法 2009
同軸形マイクロ波プラズマトーチ 2010
マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器 2016

フランス

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 2007

英国

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 2007
同軸形マイクロ波プラズマトーチ 2016

ドイツ

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 2007
同軸形マイクロ波プラズマトーチ 2016

韓国

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 2007
マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器 2016

カナダ

同軸形マイクロ波プラズマトーチ 2014

スイス

同軸形マイクロ波プラズマトーチ 2016

台湾

マイクロ波プラズマ発生装置の空洞共振器 2016

日本(商標)

アドライン、ADLINE 2008