特許権

日本

伝送線路用高周波電力計 2002
放電の始動方法、この始動方法を利用した被処理物の処理方法、及びこの始動方法を利用した被処理物の処理装置 2008
同軸形マイクロ波プラズマトーチ日本 2008
マイクロ波ラインプラズマ発生装置 2008
マイクロ波プラズマトーチ 2008
ワイヤソー 2009
プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法 2010
マイクロ波プラズマ発生方法および装置 2010

米国

高周波プラズマ用電源及びインピーダンス整合装置 1995
高周波プラズマ処理装置のためのインピーダンス整合及び電力制御システム 1999
透磁コアを有する誘導結合型一平面状プラズマの発生装置 2000
被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 2008
プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法 2009
マイクロ波プラズマ発生方法および装置 2010
同軸形マイクロ波プラズマトーチ 2010

仏国

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 2007

英国

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 2007

独国

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 2007

韓国

被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 2007

日本（商標）

アドライン、ADLINE 2008