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| 伝送線路用高周波電力計 |
2002 |
| 放電の始動方法、この始動方法を利用した被処理物の処理方法、及びこの始動方法を利用した被処理物の処理装置 |
2008 |
| 同軸形マイクロ波プラズマトーチ日本 |
2008 |
| マイクロ波ラインプラズマ発生装置 |
2008 |
| マイクロ波プラズマトーチ |
2008 |
| ワイヤソー |
2009 |
| プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法 |
2010 |
| マイクロ波プラズマ発生方法および装置 |
2010 |
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| 高周波プラズマ用電源及びインピーダンス整合装置 |
1995 |
| 高周波プラズマ処理装置のためのインピーダンス整合及び電力制御システム |
1999 |
| 透磁コアを有する誘導結合型一平面状プラズマの発生装置 |
2000 |
| 被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 |
2008 |
| プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法 |
2009 |
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| 被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 |
2007 |
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| 被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 |
2007 |
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| 被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 |
2007 |
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| 被処理物処理装置およびそれを用いたプラズマ設備 |
2007 |
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