特許権

高周波プラズマ用電源及びインピーダンス整合装置	1996
高周波プラズマ用インピーダンス整合装置	1996
プラズマパラメータ測定装置	1999
透磁コアを有する誘導結合型一平面状プラズマの発生装置	1999
高周波プラズマ処理装置のためのインピーダンス整合及び電力制御装置	1999
高周波伝送線路における負荷弁別機	2000
電子エネルギー制御機能を有する高周波プラズマ処理装置	2001
伝送線路用高周波電力計	2002

高周波用プラズマ電源及びインピーダンス整合装置	1995
高周波プラズマ処理装置のためのインピーダンス整合及び電力制御システム	1999
透磁コアを有する誘導結合型一平面状プラズマの発生装置	2000

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