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日本
高周波プラズマ用電源及びインピーダンス整合装置 1996
高周波プラズマ用インピーダンス整合装置 1996
プラズマパラメータ測定装置 1999
透磁コアを有する誘導結合型一平面状プラズマの発生装置 1999
高周波プラズマ処理装置のためのインピーダンス整合及び電力制御装置 1999
高周波伝送線路における負荷弁別機 2000
電子エネルギー制御機能を有する高周波プラズマ処理装置 2001
伝送線路用高周波電力計 2002
米国
高周波用プラズマ電源及びインピーダンス整合装置 1995
高周波プラズマ処理装置のためのインピーダンス整合及び電力制御システム 1999
透磁コアを有する誘導結合型一平面状プラズマの発生装置 2000