氷は溶けて水に戻りやがて気化して水蒸気に変わっていきます。物質はこのように固体から液体そして気体へと形態は変化していきますが、実はもうひとつ第4番目の形態があります。それが”プラズマ”なのです。
電子にエネルギ−を与えて回転半径を広げることを”励起”と呼び、電子が飛び出してしまうことを”電離”といいます。飛び出した電子は”自由電子”残された粒子を”イオン”と呼びます。電子が飛び交いイオンが舞う状態、つまり原子核と電子がきちんと結合安定していない混沌とした状態を”プラズマ”と呼ぶのです。
オーロラは、太陽から届く放射線(太陽風)のエネルギーが 大気中の酸素や窒素などの電子と衝突して、電離した電子が 地球の磁力線にとらえられプラズマとなった姿です。
例えば、最も身近な蛍光灯やネオンサインはガラス管の中に発生 した”グロー放電プラズマ”です。このほか電子とイオンが完全に 電離した”熱プラズマ(高温プラズマ)”は物質加工に用いられ、プラズマジェットやアークプラズマと呼ばれるプラズマトーチは、金属の精錬や溶融などの工業分野で広く利用されています。
プラズマ技術が現在一番多く利用されている分野は、半導体製造分野で膜付・エッチング(食刻）・アッシング(マスクの灰化)です。また、半導体に関連し、IT産業を支えるDVD・光磁気ディスク・電子 部品の製造にも欠かせない技術です。今後、環境に有害なガスの分野、ペットボトル容器・プラスチック食器からでる環境ホルモンの防止膜 コーティングなどの応用も現実化してきています。
21世紀は、”プラズマ”が暮らしの中に浸透する時代といえます。当社は、このプラズマの特性を応用し幅広い分野で活用できるエネルギーの源であるプラズマ用電源とその応用製品の開発を目指して います。 |
