ウェハキャリア歪検査装置

●	ダミーウェハを使用せず短時間検査
	ダミーウェハを使用せず、1キャリアあたり10秒と短時間で検査を行います。
●	エアーマイクロゲージによる非接触比較検査
	小径の穴からエアーを吸込み、吸込み面とキャリアとの隙間で発生する圧力変化を直接エアーマイクロゲージ方式で検出していますので非接触でゴミが出ません。

本体仕様

名称

ウェハキャリア歪検査装置

型式

OKOZE-1

対象キャリア

4inch～8inch

基本精度

±0.05mm

検査時間

10秒/キャリア

駆動方法

2PHステッピングモータ

判定出力

NGのポイントをLEDに表示

電源

AC100V 1ø 50/60Hz

消費電流

1A以下

外形寸法
(mm)

4～6inch		:	W400xD550xH300
8inch		:	W400xD550xH530

重量

約23kg

真空ポンプ仕様
名称	ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
型式	DA-120S OKOZE本体仕様により異なる場合があります
メーカー	真空機工(株)製 OKOZE本体仕様により異なる場合があります
到達圧力	100Torr(13.3x10³Pa)
排気速度	120リッター/min
駆動方法	2PHステッピングモータ
電源	AC100V 1ø 50/60Hz
消費電流	4A
外形寸法	W162xL347xH233 mm
重量	約18kg

外形図 (6inch)

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