RF電源(高周波電源)、マッチングボックスの製造・販売 – アドテックプラズマテクノロジー

| 型式 | ACA-100 |
| 周波数範囲 | D.D.S 出力 0.1 ~ 180 MHz、 安定度 : ± 30 ppm |
| 周波数ステップ | 1 Hz ~ 10MHz |
| キャリブレーション | 全てソフトウェアでコントロール |
| ADコンバータ | 12 ビット |
| インピーダンス | 0.5Ω ~ 1KΩ |
| 精度 | 1Ωにおいて、60 MHzまでは ±3%、180 MHzまでは ±5% |
| 位相角 | ±90° |
| 表示される項目 | 負荷インピーダンスの絶対値(|Z|)=(ZMag)、負荷インピーダンスの位相角(θ)=(Phase)、 等価直列抵抗(Rs)とリアクタンス(Xs)、等価並列抵抗(Rp)とリアクタンス(Xp)、リアクタンス分は、位相角によって インダクタンス(μH)値または キャパシタンス( pF)値としても表示されます |
| RF-Portコネクタ | N, female |
| 高周波出力 | 最大 20µW |
| スプリアス出力 | -30dBc または、これより良い |
| 許容浮遊端子電圧 | 最大値 150mV (-6dBm) |
| 許容高周波入力 | 最大値 2V (+16dBm) |
| インターフェース | RS232C データ転送速度は 57.6k または 115k baud 付属の「USB/RS232C アダプタ」を利用できます |
| グラフと数値表示 | パソコンディスプレイ ACA-100の操作と数値入力方法:マウスおよびキーボード |
| 電源 | 直流電圧=8~15V, 最大電流≒250mA |
| 本体ケース外寸法 | 135(W) x 142(D) x 46(H) mm (max) |
| その他 | ・スミスチャートの表示可能 ・同軸ケーブルと専用治具により、チャンバーの高周波入力端子を測定点に設定可能 |
| 保証期間 | 1年間 |