RF電源(高周波電源)、マッチングボックスの製造・販売 – アドテックプラズマテクノロジー

| 型式 | AMVG-3000-LA |
| 周波数 | 13.56MHz |
| 最大通過可能電力 | 3000W |
| RF入力インピーダンス | 50Ω(整合時) |
| RF入力コネクタ | HN, female |
| RF出力端子 | 銅バー |
| 接地端子 | 筐体 |
| 整合範囲 | ![]() |
| VSWR | 整合時1.2以下または反射波10W以下いずれか大きいほう |
| 可変素子 | 真空バリコン |
| バリコン制御モータ | 2相パルスモータ |
| 冷却 | 強制空冷(FAN風量:約2.7m3/min) 水冷(流量:2L/min/水温:10~35°C/水圧:0.5Mpa(MAX)/コネクタ:Rc1/4, female) |
| インターロックコネクタ | D-Sub 15P,female |
| インターフェースコネクタ | D-Sub 25P,male |
| リーモートコネクタ | D-Sub 25P,female |
| RS232Cコネクタ | D-Sub 9P,female |
| 電源 | 単相 定格100-200V, 50-60Hz, typ.20VA (50VA max) |
| 重量 | 約11.0kg |
| その他 | Vdcセンサ(0~±10V/0~±2500Vdc) Vppセンサ(0~10V/0~5000Vpp) |
| 保証期間 | 1年間 |
| 外形図 | ![]() |
※以上は、製品仕様の一例です。詳しくはお問い合わせください。