RF電源(高周波電源)


RF電源 出力・周波数別 製品ラインナップ

アドテックプラズマテクノロジー製・RF電源(高周波電源)を出力・周波数別にご紹介しております。
以下の製品ラインナップ表より、ご希望の製品をご選択ください。各電源の詳細なスペックをご覧いただけます。
  380kHz 400kHz 430kHz 12.5MHz 13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz
300W       RF電源(高周波電源) 300W(12.5MHz) RF電源(高周波電源) 300W(13.56MHz)    
600W       RF電源(高周波電源) 600W(12.5MHz) RF電源(高周波電源) 600W(13.56MHz) RF電源(高周波電源) 600W(27.12MHz)  
1000W RF電源(高周波電源) 1000W(380kHz) RF電源(高周波電源) 1000W(400kHz) RF電源(高周波電源) 1000W(430kHz) RF電源(高周波電源) 1000W(12.5MHz) RF電源(高周波電源) 1000W(13.56MHz) RF電源(高周波電源) 1000W(27.12MHz)  
2000W       RF電源(高周波電源) 2000W(12.5MHz) RF電源(高周波電源) 2000W(13.56MHz) RF電源(高周波電源) 2000W(27.12MHz)  
3000W         RF電源(高周波電源) 3000W(13.56MHz) RF電源(高周波電源) 3000W(27.12MHz)  
4000W             RF電源(高周波電源) 4000W(40.68MHz)
5000W         RF電源(高周波電源) 5000W(13.56MHz)    
6000W             RF電源(高周波電源) 6000W(40.68MHz)
10000W         RF電源(高周波電源) 10000W(13.56MHz)    
20000W         RF電源(高周波電源) 20000W(13.56MHz)    
30000W         RF電源(高周波電源) 30000W(13.56MHz)