RF電源(高周波電源) – 20000W (13.56MHz)


TS20

RF電源(高周波電源) – 20000W(13.56MHz) - TS20

型式 TS20
出力電力 0~20000W(50Ω負荷)
出力周波数 13.56MHz
出力方式 連続出力
出力インピーダンス 50±2Ω
出力調整範囲 200~20000W連続可変(設定は10W刻み) 定格出力電力20000W
周波数安定度 ±0.005%(10~40℃)水晶発振
出力偏差 設定値(表示電力)の±1%以内または±10Wのうち大きい方
(定格出力時/周囲温度25℃/50Ω負荷)
出力安定度 定格電力値に対し±1%
(定格出力時/周囲温度25℃/50Ω負荷)
リップル含有率 -45dBc以下 (定格出力時/周囲温度25℃/50Ω負荷)
高調波 各高次高調波成分とも基本波に対し-50dBc以内
(定格出力時/周囲温度25℃/50Ω負荷)
冷却方式 強制空冷(FAN風量:約6.0m3/min)
水冷(流量:12.0L/min/水圧:0.5Mpa(MAX)/温度:15~35℃/コネクタ形状:NPT1/2,female)
制御方式 CPUによるフィードバックコントロール
出力コネクタ EIA 1 5/8型レセプタクル
リモート端子 Analogコントロール (D-Sub 25Pin) 本体側メス
RS-232Cコントロール (D-Sub 9Pin) 本体側メス
電源 3相 AC380-480V 50-60Hz
漏洩電流 6.7mA/AC400V以下
外形寸法 (W)430mm×(D)650mm×(H)332mm 突起物含まず
重量 約100.0kg
保障期間 2年間
外形図 RF電源(高周波電源) – 20000W(13.56MHz) - 外形図